電子行業(yè)產生的廢氣具有排風量大、濃度低的特點。針對電子行業(yè)的廢氣排放特點，采用相應的廢氣末端治理技術，主要還是吸附法或焚燒法。

吸附法,廢氣處理設備是活性炭吸附脫附+催化燃燒CO設備，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs；

燃燒法，廢氣處理設備是沸石轉輪+蓄熱式焚燒爐RTO設備，由廢氣旋轉輪的上游側進入濃縮轉輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，在經脫附燃燒處理。